Photolitografia käyttää kolmea perusprosessivaihetta kuvion siirtämiseen maskista kiekolle: päällystys, kehittely, valotus. Kuvio siirtyy kiekon pintakerrokseen myöhemmän prosessin aikana. Joissakin tapauksissa estokuviota voidaan käyttää myös määrittämään kuvio kerrostuneelle ohuelle kalvolle.
Mitä fotolitografia on Miten se toimii?
Fotolitografia on kuviointiprosessi, jossa valoherkkä polymeeri altistetaan valikoivasti valolle maskin läpi, jolloin polymeeriin jää piilevä kuva, joka voidaan sitten liuottaa valikoivasti kuviollisen kuvan saamiseksi. pääsy alla olevaan substraattiin.
Miksi fotolitografiaa käytetään?
Fotolitografia on yksi tärkeimmistä ja helpoimmista mikrovalmistusmenetelmistä, ja käytetään yksityiskohtaisten kuvioiden luomiseen materiaaliin. Tässä menetelmässä muoto tai kuvio voidaan syövyttää altistamalla valoherkkä polymeeri selektiivisesti ultraviolettivalolle.
Miksi UV-valoa käytetään fotolitografiassa?
Fotolitografia mahdollistaa solujen 3D-kapseloinnin hydrogeeleihin silloittamalla soluja sisältävän esipolymeerin UV-valossa. Valomaskia käytetään halutun kuvion saamiseksi [88].
Mitä valolitografiavaatimukset ovat?
Yleensä fotolitografiaprosessi vaatii kolme perusmateriaalia, valonlähteen, valokuvamaskin ja fotoresistin. Fotoresist, valoherkkä materiaali,on kahta tyyppiä, positiivinen ja negatiivinen. Positiivinen fotoresisti liukenee paremmin valonlähteelle altistumisen jälkeen.
Photolithography: Step by step
