Puolijohdelitografian (kutsutaan myös fotolitografiaksi) tapauksessa kivemme ovat pii kiekkoja ja kuviomme on kirjoitettu valoherkällä polymeerillä, jota kutsutaan fotoresistiksi.
Mitä tarkoitat fotolitografialla?
Fotolitografia, jota kutsutaan myös optiseksi tai UV-litografiaksi, on prosessi, jota käytetään mikrovalmistuksessa osien kuvioimiseksi ohuelle kalvolle tai substraatin pääosalle (kutsutaan myös kiekoksi). … Tällä menetelmällä voidaan luoda erittäin pieniä, jopa muutaman kymmenen nanometrin kokoisia kuvioita.
Miksi litografiaa käytetään puolijohteiden valmistuksessa?
Fotolitografia on prosessi, jota käytetään mikrovalmistuksessa geometristen kuvioiden siirtämiseen kalvolle tai alustalle. Puolijohteen geometriset muodot ja kuviot muodostavat monimutkaiset rakenteet, joiden avulla seostusaineet, sähköiset ominaisuudet ja johdot voivat täydentää piirin ja täyttää teknologisen tarkoituksen.
Mikä on valolitografian tarkoitus?
Fotolitografia on yksi tärkeimmistä ja helpoimmista mikrovalmistusmenetelmistä, ja käytetään yksityiskohtaisten kuvioiden luomiseen materiaaliin. Tässä menetelmässä muoto tai kuvio voidaan syövyttää altistamalla valoherkkä polymeeri selektiivisesti ultraviolettivalolle.
Mitä on puolijohdelitografialaitteet?
Puolijohdelitografialaitteita käytetään puolijohdesirun valotusvaiheessavalmistusprosessi. … Puolijohdelitografialaitteet käyttävät projektiolinssiä pienentämään piirikuviota, joka on kirjoitettu alkuperäiselle ristikkolevylle, ja paljastaa kuvion kiekolle.
