Märkäsyövytys on materiaalin poistoprosessi, jossa käytetään nestemäisiä kemikaaleja tai etsausaineita materiaalien poistamiseen kiekosta. Tietyt kuviot määritetään kiekon fotoresist maskeilla. Nestemäiset kemikaalit syövyttävät materiaalit, joita tämä maski ei suojaa.
Missä opetusmateriaalissa on poistettu?
Selitys: Etsaus viittaa materiaalin poistamiseen kiekon pinn alta. Prosessi yhdistetään yleensä litografiaan, jotta voidaan valita tietyt alueet kiekosta, joista materiaalia poistetaan.
Poistaako etsaus materiaalia?
Kemiallinen etsaus on kaiverrusmenetelmä, jossa käytetään korkeapaineista korkean lämpötilan kemikaalisuihkua materiaalin poistamiseen, jotta metalliin saadaan pysyvä syövytetty kuva. Materiaalin pinnalle asetetaan maski tai estopinnoite, joka poistetaan valikoivasti paljastaen metallin halutun kuvan luomiseksi.
Mitä ovat märkäetsauksen vaiheet?
Perusmärkäsyövytysprosessi voidaan jakaa kolmeen (3) perusvaiheeseen: 1) etsausaineen diffuusio pintaan poistamista varten; 2) etsausaineen ja poistettavan materiaalin välinen reaktio; ja 3) reaktion sivutuotteiden diffuusio reagoineelta pinn alta.
Mitä käytetään materiaalin poistamiseen kuivaetsauksessa?
Kuivaetsaus viittaa materiaalin, tyypillisesti puolijohdemateriaalin peitetyn kuvion, poistamiseen paljastamalla materiaalia ionien pommittamiseen (yleensä reaktiivisten kaasujen, kuten fluorihiilivetyjen, hapen, kloorin, booritrikloridin plasma; joskus lisättynä typpeä, argonia, heliumia ja muita kaasuja) että …
