Yksinkertaisesta englanninkielisestä Wikipediasta, vapaasta tietosanakirjasta. Fotolitografia on valokuvauksen ja litografian yhdistelmä. Sen käyttötarkoituksiin kuuluu valokuvien massatulostus.
Mitä tarkoitat fotolitografialla?
Fotolitografia, jota kutsutaan myös optiseksi tai UV-litografiaksi, on prosessi, jota käytetään mikrovalmistuksessa osien kuvioimiseksi ohuelle kalvolle tai substraatin pääosalle (kutsutaan myös kiekoksi). … Tällä menetelmällä voidaan luoda erittäin pieniä, jopa muutaman kymmenen nanometrin kokoisia kuvioita.
Miksi sitä kutsutaan fotolitografiaksi?
Puolijohdelitografia (valokuvaus) - Perusprosessi . Integroidun piirin (IC) valmistus vaatii erilaisia fysikaalisia ja kemiallisia prosesseja, jotka suoritetaan puolijohdesubstraatilla (esim. pii). … Sana litografia tulee kreikan sanasta lithos, joka tarkoittaa kiviä, ja graphia, joka tarkoittaa kirjoittamista.
Mitä fotolitografiatyyppejä ovat?
Yleiskatsaus. On olemassa erilaisia litografisia menetelmiä riippuen käytetystä säteilystä: optinen litografia (fotolitografia), elektronisuihkulitografia, röntgenlitografia ja ionisuihkulitografia.
Mitä on fotolitografia nanoteknologiassa?
Fotolitografia on prosessi, jossa määritetään kuvio laitteen materiaaliviipaleen pinnalle. … Kuvion määrittely saadaan aikaan pyörittämällä kerrosta fotoresistiä(ultraviolettivaloherkkä neste) laitteen materiaalin siivulle. Resisti altistetaan sitten valikoivasti ultraviolettivalolle maskin läpi.
