Fotolitografiaa käytetään yleisesti tietokonesirujen tuottamiseen. Tietokonesiruja valmistettaessa substraattimateriaali on resistillä päällystetty piikiekko. Tämä prosessi mahdollistaa satojen sirujen rakentamisen samanaikaisesti yhdelle piikiekolle.
Miten valolitografia tehdään?
Fotolitografia käyttää kolmea perusprosessivaihetta kuvion siirtämiseen maskista kiekolle: päällystää, kehittää, paljastaa. Kuvio siirtyy kiekon pintakerrokseen myöhemmän prosessin aikana. Joissakin tapauksissa estokuviota voidaan käyttää myös määrittämään kuvio kerrostuneelle ohuelle kalvolle.
Miksi sitä kutsutaan fotolitografiaksi?
Puolijohdelitografia (valokuvaus) - Perusprosessi . Integroidun piirin (IC) valmistus vaatii erilaisia fysikaalisia ja kemiallisia prosesseja, jotka suoritetaan puolijohdesubstraatilla (esim. pii). … Sana litografia tulee kreikan sanasta lithos, joka tarkoittaa kiviä, ja graphia, joka tarkoittaa kirjoittamista.
Miksi litografia on tärkeää?
Litografia on prosessi, jossa geometristen muotojen kuvioita siirretään maskissa ohuelle kerrokselle säteilylle herkkää materiaalia (kutsutaan resistiksi), joka peittää puolijohdekiekon pinnan. Kuva 5.1 havainnollistaa kaaviomaisesti IC:n valmistuksessa käytettyä litografista prosessia.
Mikä on laajimmin käytetty menetelmä litografisissa menetelmissä?
Optinenlitografia on fotoniin perustuva tekniikka, joka koostuu kuvan projisoinnista valoherkkään emulsioon (fotoresisti), joka on päällystetty alustalle, kuten piikiekolle. Se on laajimmin käytetty litografiaprosessi puolijohdeteollisuuden suurissa määrin nanoelektroniikan valmistuksessa.
